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ULVAC爱发科 油扩散泵 真空
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ULVAC爱发科 油扩散泵 真空 ULK-14A
ULVAC爱发科 油扩散泵 真空 ULK-14A
油扩散真空泵蒸发加热的油以产生油蒸气。 这种油蒸气通过喷嘴高速注入并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子在油蒸气流中向排气口移动,从而产生真空。 这个过程非常有效,尤其是在需要高真空的应用中。
油扩散真空泵可以实现 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空,与其他高真空泵相比,安装经济上容易,初始成本低,并且由于结构简单,具有可靠性和耐用性,可长期提供稳定的性能。 它广泛应用于研发等各个领域。
爱发科的 ULK 型油扩散泵是一种高真空排气泵,其设计具有大临界背压和小尺寸。
它被广泛用于从研究应用到生产线。
长处
它是一种坚固的高真空泵,没有机械滑动部件。
两种类型的油和加热器的选择将使您达到所需的抽速和极限压力。
它配备了一个机构,以防止液压油流向辅助泵侧。
用
・气相沉积设备
、高真空实验室设备
型 | ULK-04A 系列 | ULK-06A 系列 | ULK-10A 型 | ULK-14A 型 | |||||||
抽速 | 550 升/秒 | 500 升/秒 | 1200 升/秒 | 1100 升/秒 | 3400 升/秒 | 3000 升/秒 | 5400 升/秒 | 4900 升/秒 | |||
极限压力 *1 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | |||
临界背压 | 40 帕 | 60 帕 | 40 帕 | 60 帕 | 35 帕 | 40 帕 | 30 帕 | 30 帕 | |||
开始时间 | 9 分钟 | 8.5 分钟 | 16.5 分钟 | 15 分钟 | 20 分钟 | 20 分钟 | 25 分钟 | 25 分钟 | |||
液压油 *2 | ULVOIL D-11,SX 系列 | ULVOIL D-31 (ULVOIL D-31) | ULVOIL D-11,SX 系列 | ULVOIL D-31 (ULVOIL D-31) | ULVOIL D-11,SX 系列 | ULVOIL D-31 (ULVOIL D-31) | ULVOIL D-11,SX 系列 | ULVOIL D-31 (ULVOIL D-31) | |||
油量 | 0.15 升 | 0.35 升 | 0.8 升 | 1.5 升 | |||||||
水温 | 19°C ~ 25°C | ||||||||||
冷却水( 尺寸×系统数量) | 遥控 1/4" | 遥控 1/4" | 遥控 3/8" | 遥控 3/8" | |||||||
冷却水量 | 1 升/分钟 | 1 升/分钟 | 1.5 升/分钟 | 2.5 升/分钟 | 3 升/分钟 | 2.5 升/分钟 | 3.5 升/分钟 | ||||
电压规格 | 200V / 1Φ | ||||||||||
电源要求 | 0.55 千瓦 | 0.73 千瓦 | 0.9 千瓦 | 1.2 千瓦 | 2.4 千瓦 | 2 千瓦 | 2.25 千瓦 | 2.4 千瓦 | |||
加热器类型 | 热板 | 热板 | 热板 | 热板 | |||||||
推荐辅助泵 *3 | VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360 系列 | VD30C / VD40C / VD60C | VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030 | VS1501 / VS2401 / PKS-030 | |||||||
外径 *4 | 一个 | 175 毫米 | 250 毫米 | 340 毫米 | 340 毫米 | ||||||
B | 150 毫米 | 180 毫米 | 240 毫米 | 240 毫米 | |||||||
H | 346 毫米 | 454 毫米 | 650 毫米 | 670 毫米 | |||||||
进气口 | VG100 系列 | VG150型 | VG250 系列 | VG350型 | |||||||
排气口 | VG25型 | VG40 系列 | VG80型 | VG80型 | |||||||
质量 | 7.5 千克 | 13.5 千克 | 47 千克 | 56 千克 | |||||||
油位计 | 没有 | 没有 | 视窗 | 视窗 | |||||||
恒温器 选项 | 存在 | 存在 | 存在 | 存在 | |||||||
恒温器 设定温度 | 250 °摄氏度 | 250 °摄氏度 | 180 摄氏度 | 180 摄氏度 |