FUJIKIN 富士金 FPR-ND-71-6.35 气动金属隔膜阀｜高纯流体工艺切断优选

更新时间：2026-07-30

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一、产品概述

FPR-ND-71-6.35 属于富士金 NEW MEGA FPR-ND-71 系列直通球形气动金属隔膜阀，日本原厂制造，

是面向半导体、光伏、特种电子气体领域的小口径高纯流体切断阀。公称通径 6.35mm（1/4"），气动单作用常闭 (NC)，

依靠金属隔膜实现流体介质与驱动机构隔离，兼顾超高洁净度、极低泄漏、耐腐蚀性，广泛用于特气输送、真空管路、

工艺气体支路通断控制。

型号释义：

阀门采用金属隔膜无填料密封结构。

项目	技术指标
公称尺寸	φ6.35 mm（1/4"）
流通能力 Cv 值	0.3（20℃氮气测试）
驱动形式	气动单作用、常闭 NC（标准）
驱动操作气压	0.4 ~ 0.6 MPa（4～6 bar）
控制气接口	M5×0.8
最高允许工作压力	1.0 MPa(G)
工作温度区间	-10 ℃ ～ +80 ℃
流体接触材质	阀体：SUS316L；隔膜：Elgiloy 镍钴合金；标准阀座：PCTFE（可选 PI 聚酰亚胺）
内表面处理	电解抛光 EP，内壁 Ra ≤0.25μm；禁油清洗
连接形式	UJR 金属垫片密封（兼容 VCR 标准）
泄漏等级	外部泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s He；阀座零泄漏密封
机械寿命	≥400 万次开关
适用工况	高纯气体、腐蚀性特种气体、高真空系统

直通式球形流道，管路拐角平滑过渡，最小化滞留容积，降低气体吸附、微粒沉积，

适配频繁吹扫的半导体工艺管路，减少批次交叉污染。

采用埃尔吉洛伊（Elgiloy）合金隔膜，抗疲劳、耐卤素腐蚀；金属隔膜柔性压紧阀座，可用于自燃、有毒、腐蚀性特种气体（SiH₄、WF₆、Cl₂、NF₃、HCl 等）。隔膜隔绝结构杜绝外部污染物侵入流体回路，满足 SEMI 半导体洁净标准。

阀体精加工后进行电解抛光、超纯水超声清洗、真空烘干、无尘室组装，无润滑油接触流体通道，杜绝碳氢污染，

适配超高纯氩气、氮气、氧气输送。

小型化气动驱动头，整机尺寸紧凑，适配特气柜、机台狭小布线空间；执行器弹簧稳定性高，高低温工况下关断力稳定，

长期运行不易出现关不严、内漏故障。

UJR 金属垫片连接，替代传统橡胶密封圈，耐高温、耐化学侵蚀，可反复拆装，在真空与压力交替工况下持续维持高气密性能。

✅ 推荐适用高纯惰性气体（N₂、Ar、He）、氧气、硅烷、氟化气体、氯化物特种气体、真空管路。⚠️ 慎用 / 禁止强氟化介质、高浓度；高温下强氧化性介质（需提前确认阀座材质选型）。

备注：标准配置 PCTFE 阀座；高温 / 强腐蚀工况可更换 PI 聚酰亚胺阀座版本。

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