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ULVAC爱发科 溅射离子泵 真空
产品型号：PST-400CXII厂商性质：经销商更新时间：2025-05-10访 问 量：10
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ULVAC爱发科 溅射离子泵 真空 PST-400CXII
ULVAC爱发科 溅射离子泵 真空 PST-400CXII
溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。
溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择，因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的超高真空，并且没有机械运动部件，因此使用寿命长，维护成本低，并且不使用油来提供清洁、无污染的真空环境。 此外，与其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等优点。
该泵利用溅射活性钛的吸气剂作用来增强超高真空范围内的排气特性。
通过优化新元件和磁场，改善了超高真空范围内的排气特性。
长处
兼容超高真空。 10 带 ISO 标准测试圆球-9PA 装置极限压力演示。
惰性气体强化排气型（AU 型）实现了氩气排气性能的两倍。 （与我们公司相比）
在超高真空范围内实现大抽速。
可以在短时间内排气到超高真空范围。
在超高真空范围内具有出色的启动特性。 （放电可承受至超高真空）
用
粒子加速器
电子显微镜
电子束光刻设备
抗振分析仪
使用超高真空环境等
| 型 | PST-110AU 型 | PST-200CXII 系列 | PST-200AXII 系列 | PST-400CXII 系列 | PST-400AXII | |
| 废气目标气体 | 活性气体 | 活性气体 | 稀有气体 | 活性气体 | 稀有气体 | |
| 再生抽速* | 0.11 米3/s N2 测量气体时 | 0.2 米3/s N2 测量气体时 | 0.02 米3/s 测量 Ar 时 | 0.36 米3/s N2 测量气体时 | 0.19 米3/s 测量 Ar 时 | |
| 极限压力 | 10-9帕 | 10-10帕 | ||||
| 工作压力 | 建议的值 | <4.5x10-3帕 | <3.8x10-3帕 | <3.0x10-3帕 | ||
| 内部卷 | 6.5 倍 10-3m3 | 11 倍 10-3m3 | 14x10-3m3 | |||
| 泵元件数量 | AU 型电池 x2 | 2 个 CX 型电池× | 2 个 AX 型电池× | CX 型单元格 × 4 个公式 | 4 个 AX 型电池× | |
| 连接法兰类型 | UFC152的 | UFC203 | ||||
| 施加电压 | 直流+7.5kV | |||||
| 加热加热器 | 无设置 | 单相 AC200V，600W | 单相 AC200V，800W | |||
| 标准烘烤温度 | 250°C | |||||
| 质量 | 36.5 千克 | 65 公斤 | 124 公斤 | |||
| 尺寸 W×D×H | 171×387×293毫米 | 296×361×376毫米 | 296×544×376毫米 | |||
| 使用环境 | 温度范围 | 5~40°C | ||||
| 湿度范围 | 85% 或更低（无冷凝） | |||||
| 泵固定螺栓孔尺寸 | 4 位 - M6 深度 15mm | 4 位 - M8 厚度 15 毫米 | 6 位 - M8 深度 15 毫米 | |||
| 推荐的控制器 | 商品及服务税 （GST-07L-B） | |||||
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