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ULVAC爱发科 低温真空泵
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ULVAC爱发科 低温真空泵 C30PMVRT
ULVAC爱发科 低温真空泵 C30PMVRT
低温泵是一种伸缩式真空泵,旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上,并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。
此外,值得注意的是,低温泵尽管使用吸附方式,但与其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。
在考虑安装低温泵时,其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。
需要运行低温泵。
压缩的氦气被送入冰箱,从冰箱返回的高温氦气被冷却和循环。
低温真空泵主要由三部分组成:低温制冷系统(通常采用闭循环氦气制冷机)、低温抽气表面和真空外壳。工作时,低温泵内部的第一级冷头温度通常维持在50-80K(用于冷凝水蒸气、二氧化碳等气体),第二级冷头温度可降至10-20K(用于冷凝氮气、氧气、氩气等),而温度可达2-4K(用于吸附氢气、氦气等难冷凝气体)。
无油清洁:低温泵不使用油类介质,避免了油蒸气对真空系统的污染,特别适合对洁净度要求高的应用场合。
抽速范围广:对常见气体的抽速可达几千至几万升/秒,特别对水蒸气、氮气、氧气等有的抽速。
极限真空高:可获得10⁻⁷至10⁻¹¹Pa的超高真空,是目前获得超高真空的主要手段之一。
结构紧凑:相比扩散泵等传统高真空泵,体积小、重量轻,便于安装。
无振动运行:现代闭循环低温泵振动极小,适合精密仪器使用。
抽气选择性:对不同气体有不同的抽速,可通过温度调节实现选择性抽气。
可再生性:当吸附饱和后,可通过加热再生恢复抽气能力。
功率 KW (50/60Hz) | 5.2/6.5 |
冷却方式:水量 (L/min) (20°C) | 水冷 5.5 |
重量 (Kg) | 121 |