ULVAC爱发科 低温真空泵 C10T
低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。

ULVAC爱发科 低温真空泵 C10T

ULVAC爱发科 低温真空泵 C10T

低温真空泵（Cryopump或Cryogenic Vacuum Pump）是一种利用低温冷凝和低温吸附原理来获得高真空和超高真空环境的真空获得设备。它通过将气体分子冷凝在极低温表面上或通过低温吸附材料捕获气体分子来实现抽气功能。

低温真空泵主要由三部分组成：低温制冷系统（通常采用闭循环氦气制冷机）、低温抽气表面和真空外壳。工作时，低温泵内部的第一级冷头温度通常维持在50-80K（用于冷凝水蒸气、二氧化碳等气体），第二级冷头温度可降至10-20K（用于冷凝氮气、氧气、氩气等），而温度可达2-4K（用于吸附氢气、氦气等难冷凝气体）。

二、低温真空泵的特点

1. 无油清洁：低温泵不使用油类介质，避免了油蒸气对真空系统的污染，特别适合对洁净度要求高的应用场合。

2. 抽速范围广：对常见气体的抽速可达几千至几万升/秒，特别对水蒸气、氮气、氧气等有的抽速。

3. 极限真空高：可获得10⁻⁷至10⁻¹¹Pa的超高真空，是目前获得超高真空的主要手段之一。

4. 结构紧凑：相比扩散泵等传统高真空泵，体积小、重量轻，便于安装。

5. 无振动运行：现代闭循环低温泵振动极小，适合精密仪器使用。

6. 抽气选择性：对不同气体有不同的抽速，可通过温度调节实现选择性抽气。

7. 可再生性：当吸附饱和后，可通过加热再生恢复抽气能力。

   
   

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