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KASHIYAMA樫山工业干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 SDX1800
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

产品型号：SDX1800
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-28
访问量：125

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产品详情

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 SDX1800

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体，解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代，随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步，现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的典型应用

（一）半导体制造

晶圆加工：刻蚀、CVD、PVD工艺

离子注入：束线系统真空维持

光刻机：EUV光源腔体抽真空

（二）平板显示行业

OLED蒸镀：高纯真空环境建立

LCD制造：液晶灌注系统

触摸屏生产：真空贴合工艺

（三）光伏产业

太阳能电池：PECVD工艺

薄膜电池：真空镀膜系统

组件封装：层压机抽真空

（四）科研领域

同步辐射：光束线真空系统

电镜系统：样品室抽真空

空间模拟：环境模拟舱抽气

（五）其他应用

医疗设备：质子治疗加速器

锂电池制造：极片干燥系统

食品包装：无菌包装生产线

型号*1		SDX600型	SDT600 系列	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000*5	SDH6000*5
最大抽速 [L/min]2 6		10,000		18,000	19,000	30,000		50,000	100,000
极限压力 [Pa] *2		0.5				0.3			0.5
电源电压（50/60Hz）		三相 AC200~220V*7
N2流速 [SLM]		0~80						0~120
冷却水流量 [L/min]		3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
功耗[kW]*3		1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm]*4	L	695		695		850		910	1050
	W	285		285		380		420	515
	H	850		850		950		900	950

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