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KASHIYAMA樫山工业干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 SDT1200
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

产品型号：SDT1200
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-28
访问量：161

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产品详情

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 SDT1200

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体，解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代，随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步，现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的显著特点

无油设计：

泵腔内无任何润滑介质

抽气过程100%无油蒸汽反流

达到ISO 8573-1 Class 0无油标准

精密机械结构：

采用多级压缩设计（通常3-7级）

转子与腔体间隙控制在微米级

特殊表面处理工艺降低摩擦

介质适应性：

可处理腐蚀性气体（需特殊材质）

耐受粉尘和颗粒物（配置过滤器时）

能抽除可凝性蒸汽

智能控制系统：

集成温度、振动等多参数监测

具备自动过载保护功能

支持远程监控和故障诊断

宽泛的工作范围：

极限真空可达0.01Pa（涡轮分子泵组合时）

流量范围从1m³/h到1000m³/h

适应连续或间歇运行模式

型号*1		SDX600型	SDT600 系列	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000*5	SDH6000*5
最大抽速 [L/min]2 6		10,000		18,000	19,000	30,000		50,000	100,000
极限压力 [Pa] *2		0.5				0.3			0.5
电源电压（50/60Hz）		三相 AC200~220V*7
N2流速 [SLM]		0~80						0~120
冷却水流量 [L/min]		3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
功耗[kW]*3		1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm]*4	L	695		695		850		910	1050
	W	285		285		380		420	515
	H	850		850		950		900	950

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