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KASHIYAMA樫山工业干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 SDH3000
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

产品型号：SDH3000
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-28
访问量：132

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产品详情

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 SDH3000

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体，解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代，随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步，现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的核心优势

洁净无污染：

确保工艺气体纯度

避免产品油污染

符合洁净室标准

低维护成本：

无油液更换需求

维护周期长达20,000小时

易损件寿命显著延长

节能环保：

比油封泵节能30-50%

无废油处理问题

噪音水平低于65dB(A)

稳定可靠：

采用特殊轴承设计

热稳定性优异（-20℃至+120℃）

振动值<2.8mm/s

系统兼容性强：

可与分子泵组成复合机组

轻松集成自动化生产线

支持多种工业通讯协议

型号*1		SDX600型	SDT600 系列	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000*5	SDH6000*5
最大抽速 [L/min]2 6		10,000		18,000	19,000	30,000		50,000	100,000
极限压力 [Pa] *2		0.5				0.3			0.5
电源电压（50/60Hz）		三相 AC200~220V*7
N2流速 [SLM]		0~80						0~120
冷却水流量 [L/min]		3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
功耗[kW]*3		1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm]*4	L	695		695		850		910	1050
	W	285		285		380		420	515
	H	850		850		950		900	950

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