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KASHIYAMA樫山工业干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 MU300XE
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

产品型号：MU300XE
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-26
访问量：144

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产品详情

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 MU300XE

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体，解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代，随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步，现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的显著特点

无油设计：

泵腔内无任何润滑介质

抽气过程100%无油蒸汽反流

达到ISO 8573-1 Class 0无油标准

精密机械结构：

采用多级压缩设计（通常3-7级）

转子与腔体间隙控制在微米级

特殊表面处理工艺降低摩擦

介质适应性：

可处理腐蚀性气体（需特殊材质）

耐受粉尘和颗粒物（配置过滤器时）

能抽除可凝性蒸汽

智能控制系统：

集成温度、振动等多参数监测

具备自动过载保护功能

支持远程监控和故障诊断

宽泛的工作范围：

极限真空可达0.01Pa（涡轮分子泵组合时）

流量范围从1m³/h到1000m³/h

适应连续或间歇运行模式

规格/型号	MU100XE	MU180X	MU300XE	MU600XE	MU1200XE
最大抽速 [L/min] 1 5	1,660	3,000	5,000	10,000	20,000
极限压力 [Pa] *1	1.5		0.5
电源电压（50/60Hz）	三相 AC200~220V *2
功耗 [kW] *3	0.25	0.5	0.45	0.5	0.6
外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *4	450×230×275	550×280×299	450×230×520	530×230×520	625×275×580
重量 [kg]	60	95	100	120	165

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