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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU1200XE
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU1200XE
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的典型应用
(一)半导体制造
晶圆加工:刻蚀、CVD、PVD工艺
离子注入:束线系统真空维持
光刻机:EUV光源腔体抽真空
(二)平板显示行业
OLED蒸镀:高纯真空环境建立
LCD制造:液晶灌注系统
触摸屏生产:真空贴合工艺
(三)光伏产业
太阳能电池:PECVD工艺
薄膜电池:真空镀膜系统
组件封装:层压机抽真空
(四)科研领域
同步辐射:光束线真空系统
电镜系统:样品室抽真空
空间模拟:环境模拟舱抽气
(五)其他应用
医疗设备:质子治疗加速器
锂电池制造:极片干燥系统
食品包装:无菌包装生产线
规格/型号 | MU100XE | MU180X | MU300XE | MU600XE | MU1200XE |
最大抽速 [L/min] *1 *5 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 |
极限压力 [Pa] *1 | 1.5 | 0.5 | |||
电源电压 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V *2 | ||||
功耗 [kW] *3 | 0.25 | 0.5 | 0.45 | 0.5 | 0.6 |
外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *4 | 450×230×275 | 550×280×299 | 450×230×520 | 530×230×520 | 625×275×580 |
重量 [kg] | 60 | 95 | 100 | 120 | 165 |