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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU100XE
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU100XE
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的核心优势
洁净无污染:
确保工艺气体纯度
避免产品油污染
符合洁净室标准
低维护成本:
无油液更换需求
维护周期长达20,000小时
易损件寿命显著延长
节能环保:
比油封泵节能30-50%
无废油处理问题
噪音水平低于65dB(A)
稳定可靠:
采用特殊轴承设计
热稳定性优异(-20℃至+120℃)
振动值<2.8mm/s
系统兼容性强:
可与分子泵组成复合机组
轻松集成自动化生产线
支持多种工业通讯协议
规格/型号 | MU100XE | MU180X | MU300XE | MU600XE | MU1200XE |
最大抽速 [L/min] *1 *5 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 |
极限压力 [Pa] *1 | 1.5 | 0.5 | |||
电源电压 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V *2 | ||||
功耗 [kW] *3 | 0.25 | 0.5 | 0.45 | 0.5 | 0.6 |
外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *4 | 450×230×275 | 550×280×299 | 450×230×520 | 530×230×520 | 625×275×580 |
重量 [kg] | 60 | 95 | 100 | 120 | 165 |