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KASHIYAMA樫山工业干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 NeoDry7E
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

产品型号：NeoDry7E
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-26
访问量：110

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产品详情

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 NeoDry7E

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体，解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代，随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步，现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的显著特点

无油设计：

泵腔内无任何润滑介质

抽气过程100%无油蒸汽反流

达到ISO 8573-1 Class 0无油标准

精密机械结构：

采用多级压缩设计（通常3-7级）

转子与腔体间隙控制在微米级

特殊表面处理工艺降低摩擦

介质适应性：

可处理腐蚀性气体（需特殊材质）

耐受粉尘和颗粒物（配置过滤器时）

能抽除可凝性蒸汽

智能控制系统：

集成温度、振动等多参数监测

具备自动过载保护功能

支持远程监控和故障诊断

宽泛的工作范围：

极限真空可达0.01Pa（涡轮分子泵组合时）

流量范围从1m³/h到1000m³/h

适应连续或间歇运行模式

规格/型号	NeoDry7E 新干	NeoDry15E 新干	NeoDry30E 新产品	NeoDry36E 新产品	NeoDry60E 新干	NeoDry100E 新产品	NeoDry300E 新产品
最大抽速 [L/min]	110	250	500	600	1,000	1,670	5,000
极限压力 [Pa] （无气镇机构）	5.0	1.0				2.0	0.3
电源电压（50/60Hz） *1	单相 AC100~120V 单相 AC200~240V	单相 AC100~120V，单相 AC200~240V 三相 AC200~240V			单相 AC200~240V 三相 AC200~240V
气镇机制	可选配置（N2是的）					标准采用
最大蒸汽处理速率 [g/h] （带气镇机构）	120	250		350	600
噪音水平 [dB（A）] （进气口关闭时）	≦56			≦58	≦60	≦55	≦72
振动值 [μmp-p] （当进气口关闭时）	≦8						≦15
重量 [kg]	19	23	25	54	56	90	125
进气口直径	西北 25		西北 40				西北 50
排气孔	西北 25
外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *2	360×196×219	385×210×250	410×210×250	475×298×275	530×315×275	576×320×342	574×304×575

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