产品分类

products category

KASHIYAMA樫山工业

真空泵

查看全部产品 >>

相关文章

产品中心/ products

您的位置：首页 - 产品中心 - KASHIYAMA樫山工业 - 真空泵 - NeoDry30EKASHIYAMA樫山工业干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 NeoDry30E
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

产品型号：NeoDry30E
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-26
访问量：72

立即咨询

联系电话：028-87319898

产品详情

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 NeoDry30E

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体，解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代，随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步，现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的典型应用

（一）半导体制造

晶圆加工：刻蚀、CVD、PVD工艺

离子注入：束线系统真空维持

光刻机：EUV光源腔体抽真空

（二）平板显示行业

OLED蒸镀：高纯真空环境建立

LCD制造：液晶灌注系统

触摸屏生产：真空贴合工艺

（三）光伏产业

太阳能电池：PECVD工艺

薄膜电池：真空镀膜系统

组件封装：层压机抽真空

（四）科研领域

同步辐射：光束线真空系统

电镜系统：样品室抽真空

空间模拟：环境模拟舱抽气

（五）其他应用

医疗设备：质子治疗加速器

锂电池制造：极片干燥系统

食品包装：无菌包装生产线

规格/型号	NeoDry7E 新干	NeoDry15E 新干	NeoDry30E 新产品	NeoDry36E 新产品	NeoDry60E 新干	NeoDry100E 新产品	NeoDry300E 新产品
最大抽速 [L/min]	110	250	500	600	1,000	1,670	5,000
极限压力 [Pa] （无气镇机构）	5.0	1.0				2.0	0.3
电源电压（50/60Hz） *1	单相 AC100~120V 单相 AC200~240V	单相 AC100~120V，单相 AC200~240V 三相 AC200~240V			单相 AC200~240V 三相 AC200~240V
气镇机制	可选配置（N2是的）					标准采用
最大蒸汽处理速率 [g/h] （带气镇机构）	120	250		350	600
噪音水平 [dB（A）] （进气口关闭时）	≦56			≦58	≦60	≦55	≦72
振动值 [μmp-p] （当进气口关闭时）	≦8						≦15
重量 [kg]	19	23	25	54	56	90	125
进气口直径	西北 25		西北 40				西北 50
排气孔	西北 25
外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *2	360×196×219	385×210×250	410×210×250	475×298×275	530×315×275	576×320×342	574×304×575

在线咨询

上一篇：NeoDry60EKASHIYAMA樫山工业干式真空泵
下一篇：NeoDry7EKASHIYAMA樫山工业干式真空泵

返回列表

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 NeoDry30E
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 NeoDry30E干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

KASHIYAMA樫山工业干式真空泵 NeoDry30E
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。