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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 NeoDry36G
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 NeoDry36G
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的显著特点
无油设计:
泵腔内无任何润滑介质
抽气过程100%无油蒸汽反流
达到ISO 8573-1 Class 0无油标准
精密机械结构:
采用多级压缩设计(通常3-7级)
转子与腔体间隙控制在微米级
特殊表面处理工艺降低摩擦
介质适应性:
可处理腐蚀性气体(需特殊材质)
耐受粉尘和颗粒物(配置过滤器时)
能抽除可凝性蒸汽
智能控制系统:
集成温度、振动等多参数监测
具备自动过载保护功能
支持远程监控和故障诊断
宽泛的工作范围:
极限真空可达0.01Pa(涡轮分子泵组合时)
流量范围从1m³/h到1000m³/h
适应连续或间歇运行模式
规格/型号 | NeoDry7G | NeoDry15G | NeoDry30G | NeoDry36G |
最大抽速 [L/min] | 110 | 250 | 500 | 600 |
极限压力 [Pa] (无气镇机构) | 5.0 | 1.0 | 0.7 | |
电源电压 (50/60Hz) | 单相 AC100~240V(宽输入电源) | |||
气镇机制 | 可选配置 (N2是的) | |||
最大蒸汽处理速率 [g/h] (带气镇机构) | 135 | 275 | 350 | |
噪音水平 [dB(A)] (进气口关闭时) | 45 | 51 | ||
振动值 [μmp-p] (当进气口关闭时) | ≦8 | |||
重量 [kg] | 19 | 22 | 24 | 51 |
进气口直径 | 西北 25 | 西北 40 | ||
排气孔 | 西北 25 | |||
功耗 [kW](极限压力下) | 0.28 | 0.34 | 0.55 | |
外部尺寸 [mm] 长×宽×高 | 360×196×196 | 385×210×219 | 410×210×219 | 475×298×260 |