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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 NeoDry60E
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 NeoDry60E
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的核心优势
洁净无污染:
确保工艺气体纯度
避免产品油污染
符合洁净室标准
低维护成本:
无油液更换需求
维护周期长达20,000小时
易损件寿命显著延长
节能环保:
比油封泵节能30-50%
无废油处理问题
噪音水平低于65dB(A)
稳定可靠:
采用特殊轴承设计
热稳定性优异(-20℃至+120℃)
振动值<2.8mm/s
系统兼容性强:
可与分子泵组成复合机组
轻松集成自动化生产线
支持多种工业通讯协议
规格/型号 | NeoDry7E 新干 | NeoDry15E 新干 | NeoDry30E 新产品 | NeoDry36E 新产品 | NeoDry60E 新干 | NeoDry100E 新产品 | NeoDry300E 新产品 |
最大抽速 [L/min] | 110 | 250 | 500 | 600 | 1,000 | 1,670 | 5,000 |
极限压力 [Pa] (无气镇机构) | 5.0 | 1.0 | 2.0 | 0.3 | |||
电源电压 (50/60Hz) *1 | 单相 AC100~120V 单相 AC200~240V | 单相 AC100~120V, 单相 AC200~240V 三相 AC200~240V | 单相 AC200~240V 三相 AC200~240V | ||||
气镇机制 | 可选配置 (N2是的) | 标准采用 | |||||
最大蒸汽处理速率 [g/h] (带气镇机构) | 120 | 250 | 350 | 600 | |||
噪音水平 [dB(A)] (进气口关闭时) | ≦56 | ≦58 | ≦60 | ≦55 | ≦72 | ||
振动值 [μmp-p] (当进气口关闭时) | ≦8 | ≦15 | |||||
重量 [kg] | 19 | 23 | 25 | 54 | 56 | 90 | 125 |
进气口直径 | 西北 25 | 西北 40 | 西北 50 | ||||
排气孔 | 西北 25 | ||||||
外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *2 | 360×196×219 | 385×210×250 | 410×210×250 | 475×298×275 | 530×315×275 | 576×320×342 | 574×304×575 |