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SATOVAC佐藤 潘宁真空计
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SATOVAC佐藤 潘宁真空计 CR-1N
SATOVAC佐藤 潘宁真空计 CR-1N
由于是冷阴极放电,灯丝不会烧坏,结构简单坚固,即使在大气压下接通也不会失效。 该测量装置使用磁铁的特殊合金,该合金体积小、重量轻且可清洁。 它是一种易于作的模拟型,坚固耐用,因此可以作为工业和研究仪器轻松用于各种真空设备。
真空计(Vacuum Gauge),又称真空压力计或真空规,是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。其工作原理基于不同压力范围内气体分子的物理特性变化,通过传感器将压力信号转换为电信号,最终以数字或模拟方式显示真空度。
测量范围 | 8×10-1~1×10-3Pa (1 范围) |
---|---|
压力单位 | 帕 |
记录器输出 | 满量程 10 mV |
电源电压 | AC100V 50Hz/60Hz 9VA |
尺寸 | 宽185×深185×高120 毫米 |
质量 数量 | 2.9 千克 |
统治者 | D-31M φ15 量规端口安装 |
真空计广泛应用于科研、工业制造、半导体、航空航天等领域,是真空技术的关键测量设备。真空计在多个行业的关键环节中发挥着重要作用:
1. 半导体与电子制造
用于晶圆加工、薄膜沉积、离子注入等工艺,确保高真空环境(10⁻⁴ ~ 10⁻⁷ Pa)的稳定性。
在真空封装(如MEMS传感器)中监测残余气体压力。
2. 工业制造与材料处理
真空炉:在金属热处理、烧结过程中控制真空度,防止氧化。
真空镀膜:监测PVD(物理气相沉积)、CVD(化学气相沉积)设备的真空环境。
3. 科研与实验室
高能物理实验(如粒子加速器)需要超高真空(<10⁻⁷ Pa)环境。
空间模拟舱:模拟太空环境,测试航天器部件的真空适应性。
4. 医疗与生物技术
冷冻电镜(Cryo-EM)需要高真空环境以保持样本稳定性。
真空灭菌设备中监测压力,确保灭菌效果