SATOVAC佐藤 电离真空计 IG-D7A
真空计（Vacuum Gauge），又称真空压力计或真空规，是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器

SATOVAC佐藤 电离真空计 IG-D7A

SATOVAC佐藤 电离真空计 IG-D7A

它是一种多功能、高精度的电离真空计，可用于各种应用。 除了外部控制外，它还增强了通信功能和 BCD 输出等可选功能，为各种类型的控制和 FA 做出了贡献。

真空计（Vacuum Gauge），又称真空压力计或真空规，是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。其工作原理基于不同压力范围内气体分子的物理特性变化，通过传感器将压力信号转换为电信号，最终以数字或模拟方式显示真空度。真空计广泛应用于科研、工业制造、半导体、航空航天等领域，是真空技术的关键测量设备。

真空计在多个行业的关键环节中发挥着重要作用：

1. 半导体与电子制造

用于晶圆加工、薄膜沉积、离子注入等工艺，确保高真空环境（10⁻⁴ ~ 10⁻⁷ Pa）的稳定性。

在真空封装（如MEMS传感器）中监测残余气体压力。

2. 工业制造与材料处理

真空炉：在金属热处理、烧结过程中控制真空度，防止氧化。

真空镀膜：监测PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）设备的真空环境。

3. 科研与实验室

高能物理实验（如粒子加速器）需要超高真空（<10⁻⁷ Pa）环境。

空间模拟舱：模拟太空环境，测试航天器部件的真空适应性。

4. 医疗与生物技术

冷冻电镜（Cryo-EM）需要高真空环境以保持样本稳定性。

真空灭菌设备中监测压力，确保灭菌效果。