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ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵
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ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR300B
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR300B
多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
在 FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 最常见的泵之一是罗茨干式真空泵。
干式真空泵“型号:CR VerB"是一款已获得国际标准(CE、cTUVus)的风冷罗茨型干式真空泵。
排气室不使用油,转子和气缸以非接触方式运行,可以长时间稳定运行。
长处
排气室是非接触式的,不使用油,因此可以长时间稳定排气。
由于不需要冷却水和氮气,因此有助于降低运行成本。
配备直流屏蔽电机,节能、密闭、轻量化。
气镇机构可实现蒸汽排放。
标准:CE、cTUVus
用
真空排气清洁气体,如空气和惰性气体
真空干燥等水蒸气排放(必须使用气镇)
用于溅射、气相沉积等的真空设备。
型 | CR16B 系列 | CR30B 型 | CR60B-S 系列 | CR60B-T 型 | CR300B 系列 | |
最大抽速 | m3/小时 | 16 | 30 | 55 | 300 | |
升/分钟 | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
极限压力 *1 | 帕 | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
最大入口压力 | 气压 | |||||
最大排气口压力 | 气压 | |||||
电源电压 *2 | 单相:100 V、200 V 三相:200 V | 单相:200V | 三相:200V | 三相:200V | ||
电机额定值 | 千瓦 | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
进气口 | KF25 系列 | 肯氟烃40 | KF50 系列 | |||
排气口 | KF25 系列 | 肯氟烃40 | ||||
质量 | 公斤 | 35 | 48 | 100 | ||
法规遵从性 | CE、cTUVus | |||||
冷却方式 | 风冷 | |||||
气镇机构 *3 | 存在 | |||||
最大蒸汽处理量 *4 | 克/小时 | <300 | <500 | |||
标准配件 | 电源连接器、信号连接器、使用说明书、空气过滤器、防护装置 |