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ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵

ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS120A
螺杆式真空泵是一种真空泵,其中泵壳中的螺杆转子将流体引导到网状间隙中并旋转它以沿轴向连续移动流体。

  • 产品型号:MS120A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-05-10
  • 访  问  量:11
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ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS120A


ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS120A

螺杆式真空泵是一种真空泵,其中泵壳中的螺杆转子将流体引导到网状间隙中并旋转它以沿轴向连续移动流体。

“Model:MS" 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 这是一种基于传统“Model:LS"的耐过程性干式真空泵,具有更高的耐腐蚀性和粉末排出性。 它设计用于具有腐蚀性气体和粉末排放的真空过程。

长处

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊表面处理,实现了高耐腐蚀性。

螺旋式转子轴具有 ULVAC 设计,可实现高粉末排放。

可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。

电子元件和半导体制造设备、

蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等的真空排气系统

真空热处理炉、

烧结炉、渗碳炉等的真空排气系统

锂电池制造设备、

电极干燥设备、消泡设备、注液设备等的真空排气系统。

医疗和食品相关设备的真空排气系统、

冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

MS120A 系列MS600A 系列MS1200A
最大抽速 *1m3/小时115560980
极限压力≦0.6≦0.1
电源电压三相,50/60Hz,AC200-240V±10% 或 三相,50/60Hz,AC380-480V±10%
近似功耗 *2千瓦2.43.13.1
冷却水量升/分钟>4.0
吹扫气体量 *1SLM 系列0~50
最大水蒸气吞吐量
*1*3
公斤/小时1.5
噪音水平 *2分贝(A)616264
进气口KF50 (水平) / VG50 (垂直)ISO-F-80 认证ISO-F-100 认证
排气口肯氟烃40
重量*4公斤139241264
法规遵从性CE、cTUVus
标准配件快速手册、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器防护罩、专用消音器 1 套
主机选项电源电压:200 V 级或 400 V 级
密封材料:氟橡胶 (FKM) 或全氟弹性体 (FFKM)
外部选项外壳排气口、抗震装置、LR 兼容单元(进气口、信号)、吹扫气体阀


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