MIYUKI美幸辉 真空阀 AEH-N40
真空阀（Vacuum Valve）是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。

MIYUKI美幸辉 真空阀 AEH-N40

MIYUKI美幸辉 真空阀 AEH-N40

L 型阀

AEH 系列

阀体可以在任何位置停止，以实现缓慢排气。

真空阀（Vacuum Valve）是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。由于真空系统对密封性、材料放气率和耐压差有严格要求，真空阀的设计与普通阀门有显著区别。

真空阀根据工作原理可分为：

截止型真空阀（如真空挡板阀、真空蝶阀）——用于切断或接通气流。

调节型真空阀（如真空微调阀、针阀）——用于精确控制气体流量和压力。

放气阀（如真空破空阀）——用于向真空腔体引入大气，平衡压力。

真空阀广泛应用于半导体制造、真空镀膜、航天模拟、粒子加速器、医疗设备等领域，是真空系统的关键组件。

真空阀的特点

抗污染能力

部分真空阀（如插板阀）采用“无摩擦"设计，减少颗粒物产生，适用于洁净室环境。

双向密封

部分高真空阀门可承受正反双向压力，确保系统安全。

低流阻设计

大口径真空阀（如角阀、蝶阀）采用流线型通道，减少气流阻力，提高抽气效率。

真空阀的优点

超高密封性

采用金属密封或氟橡胶（FKM）等特殊材料，确保阀门在超高真空（≤10⁻⁶ Pa）环境下仍能保持极低泄漏率。

部分高精度真空阀采用波纹管密封，避免阀杆处泄漏。

低放气率

阀体和密封材料经过特殊处理（如电抛光、镀镍或烘烤除气），减少材料在真空环境下的气体释放。

耐压差能力强

可承受从大气压（10⁵ Pa）到超高真空（10⁻⁷ Pa）的巨大压差，确保阀门在开关过程中不发生变形或泄漏。