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MIYUKI美幸辉 真空阀
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MIYUKI美幸辉 真空阀 AER-C160
MIYUKI美幸辉 真空阀 AER-C160
L 型阀
AB/AE/ABR/AER 系列
轴封方式(波纹管密封、O 形圈密封)可根据使用目的选择。
16A~50A 可用于单作用和双作用。
所有尺寸均与反压兼容。
真空阀(Vacuum Valve)是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。由于真空系统对密封性、材料放气率和耐压差有严格要求,真空阀的设计与普通阀门有显著区别。
真空阀根据工作原理可分为:
截止型真空阀(如真空挡板阀、真空蝶阀)——用于切断或接通气流。
调节型真空阀(如真空微调阀、针阀)——用于精确控制气体流量和压力。
放气阀(如真空破空阀)——用于向真空腔体引入大气,平衡压力。
真空阀广泛应用于半导体制造、真空镀膜、航天模拟、粒子加速器、医疗设备等领域,是真空系统的关键组件。
真空阀的应用领域
医疗与生物技术
应用于冷冻电镜、真空冷冻干燥机、医用加速器等设备,保证无菌无污染环境。
工业真空系统
真空炉、真空钎焊、真空包装等设备使用真空阀控制抽气速率和压力。
新能源与核工业
在核聚变装置(如托卡马克)、光伏制造中,真空阀用于维持高纯度真空环境。
真空阀的优点
超高密封性
采用金属密封或氟橡胶(FKM)等特殊材料,确保阀门在超高真空(≤10⁻⁶ Pa)环境下仍能保持极低泄漏率。
部分高精度真空阀采用波纹管密封,避免阀杆处泄漏。
低放气率
阀体和密封材料经过特殊处理(如电抛光、镀镍或烘烤除气),减少材料在真空环境下的气体释放。
耐压差能力强
可承受从大气压(10⁵ Pa)到超高真空(10⁻⁷ Pa)的巨大压差,确保阀门在开关过程中不发生变形或泄漏。