LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3462L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3462L

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3462L

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

核心技术架构

传感系统：

热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃

压差式传感：基于层流元件和压差传感器组合，适用于大流量范围（0.1-5000SLM）

科里奥利式：直接质量测量，精度可达±0.1%读数

阀体系统：

压电瓷阀（响应时间<10ms）

电磁比例阀（寿命>10⁸次循环）

金属密封阀座（耐压10MPa）

典型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

离子注入（BF₃/PH₃精确配气）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

锂电材料烧结（N₂/O₂混合控制）

光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）

3. 制药行业：

生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）

冻干机惰性气体保护（露点控制<-70℃）

无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）