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LINTEC琳得科 质量流量控制器

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3452L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

  • 产品型号:MM-3452L
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-03-26
  • 访  问  量:69
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LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3452L


LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3452L

质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后,部分的气体从分流器导入质流传感器,由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号,反馈调节控制阀的开度,以此进行流量的控制。

核心技术架构

传感系统:

热式传感:基于King's Law原理,采用毛细管式或旁路式设计,温度分辨率达0.01℃

压差式传感:基于层流元件和压差传感器组合,适用于大流量范围(0.1-5000SLM)

科里奥利式:直接质量测量,精度可达±0.1%读数

阀体系统:

压电瓷阀(响应时间<10ms)

电磁比例阀(寿命>10⁸次循环)

金属密封阀座(耐压10MPa)

温度最下压差最大压差精度控制范围最小F.S.最小F.S.密封件
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM400SLMAu

技术发展趋势

智能化升级:

集成AI预测性维护功能

5G远程监控与参数优化

微型化发展:

MEMS流量传感器(芯片级集成)

适用于便携式分析仪器

绿色制造:

无铅焊接工艺

可再生材料应用

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