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更新时间：2026-04-13 
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本公司的MCPD series，由于采用柔软纤维的事，从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。通过采用独自算法，可以高速实时监控。
简介
特 点及产品介绍
● 膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）
● 最短曝光时间1ms~※根据规格
● 由于是柔性纤维光学系统，容易组装到半导体工艺装置中
● 可从上层远程控制
● 适合于研磨中膜厚终点检测
MCPD-9800仕様
| 型号 | MCPD-9800 | ||||
2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |
| 测量波长范围（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 |
| 膜厚范围※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm |
| 膜厚/反射/透过/相位差 | 〇 | ||||
| 色测量 | 〇 | x | |||
| 扫描时间 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||
| 光斑直径 | φ1.2mm | ||||
| 光纤长度 | 1m～长度需相商 | ||||
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定
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