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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE303TX
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE303TX
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的典型应用
(一)半导体制造
晶圆加工:刻蚀、CVD、PVD工艺
离子注入:束线系统真空维持
光刻机:EUV光源腔体抽真空
(二)平板显示行业
OLED蒸镀:高纯真空环境建立
LCD制造:液晶灌注系统
触摸屏生产:真空贴合工艺
(三)光伏产业
太阳能电池:PECVD工艺
薄膜电池:真空镀膜系统
组件封装:层压机抽真空
(四)科研领域
同步辐射:光束线真空系统
电镜系统:样品室抽真空
空间模拟:环境模拟舱抽气
(五)其他应用
医疗设备:质子治疗加速器
锂电池制造:极片干燥系统
食品包装:无菌包装生产线
规格/型号 | SDE90X 系列 | SDE120TX | SDE200 系列 | SDE303X/TX | SDE603X/TX | SDE1203X/TX | |
最大抽速 [L/min] *1 *4 | 1,300 | 1,500 | 3,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | |
极限压力 [Pa] *1 | 1.3 | 0.5 | |||||
电源电压 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V *5 | ||||||
功耗 [kW]*2 | 1.3 | 2.8 | 2.7 | 1.5/3.0 | 1.6/3.1 | 2.0/3.2 | |
外形尺寸 [mm]*3 | L | 690 | 930 | 760 | 900 | ||
W | 370 | 400 | 400 | ||||
H | 501 | 500 | 905 |