产品中心/ products

您的位置:首页  -  产品中心  -  KASHIYAMA樫山工业  -  真空泵  -  SDE303TXKASHIYAMA樫山工业 干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE303TX
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

  • 产品型号:SDE303TX
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-05-28
  • 访  问  量:122
立即咨询

联系电话:028-87319898

产品详情

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE303TX


KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE303TX

干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的典型应用

(一)半导体制造

晶圆加工:刻蚀、CVD、PVD工艺

离子注入:束线系统真空维持

光刻机:EUV光源腔体抽真空

(二)平板显示行业

OLED蒸镀:高纯真空环境建立

LCD制造:液晶灌注系统

触摸屏生产:真空贴合工艺

(三)光伏产业

太阳能电池:PECVD工艺

薄膜电池:真空镀膜系统

组件封装:层压机抽真空

(四)科研领域

同步辐射:光束线真空系统

电镜系统:样品室抽真空

空间模拟:环境模拟舱抽气

(五)其他应用

医疗设备:质子治疗加速器

锂电池制造:极片干燥系统

食品包装:无菌包装生产线

规格/型号SDE90X 系列SDE120TXSDE200 系列SDE303X/TXSDE603X/TXSDE1203X/TX
最大抽速
[L/min] *1 *4
1,3001,5003,3005,00010,00020,000
极限压力
[Pa] *1
1.30.5
电源电压
(50/60Hz)
三相 AC200~220V *5
功耗 [kW]*21.32.82.71.5/3.01.6/3.12.0/3.2
外形尺寸 [mm]*3L690930760900
W370400400
H501500905




在线咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
028-87319898
扫一扫
加微信
版权所有©2025 高斯摩(成都)国际贸易有限公司 All Rights Reserved   备案号:蜀ICP备2025128613号-2   sitemap.xml   技术支持:化工仪器网   管理登陆