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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE1203X
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE1203X
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的核心优势
洁净无污染:
确保工艺气体纯度
避免产品油污染
符合洁净室标准
低维护成本:
无油液更换需求
维护周期长达20,000小时
易损件寿命显著延长
节能环保:
比油封泵节能30-50%
无废油处理问题
噪音水平低于65dB(A)
稳定可靠:
采用特殊轴承设计
热稳定性优异(-20℃至+120℃)
振动值<2.8mm/s
系统兼容性强:
可与分子泵组成复合机组
轻松集成自动化生产线
支持多种工业通讯协议
规格/型号 | SDE90X 系列 | SDE120TX | SDE200 系列 | SDE303X/TX | SDE603X/TX | SDE1203X/TX | |
最大抽速 [L/min] *1 *4 | 1,300 | 1,500 | 3,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | |
极限压力 [Pa] *1 | 1.3 | 0.5 | |||||
电源电压 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V *5 | ||||||
功耗 [kW]*2 | 1.3 | 2.8 | 2.7 | 1.5/3.0 | 1.6/3.1 | 2.0/3.2 | |
外形尺寸 [mm]*3 | L | 690 | 930 | 760 | 900 | ||
W | 370 | 400 | 400 | ||||
H | 501 | 500 | 905 |