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NAGANO长野计器 用于半导体行业的压力表
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NAGANO长野计器 用于半导体行业的压力表 GW
NAGANO长野计器 用于半导体行业的压力表 GW
一般 ~ 清洁等级 (A/B)
即使在半导体高纯度气体和腐蚀性气体环境等条件下,它也表现出优异的性能。 它的制造充分考虑了气密性和清洁度,适用于半导体工艺,尤其是高纯度流体。
认证标准: ico_rohs
长处
・由于波登管、连接部分、外壳和内部单元等主要部件由不锈钢制成,因此它不仅对测量体而且对大气都具有出色的耐腐蚀性
・气体接触部件的焊接在严格的质量控制
下进行,例如氩弧焊、耐压和气密性检查。
*选择压力表时,
请选择压力范围,使正常压力的上限在以下范围内,以便充分展示性能。
在恒压情况下:压力范围最大值的 3/4 或更小 在
压力波动的情况下:压力范围最大值的 2/3 或更小
此外,请确保所述气体接触部分的材料与被测流体兼容。
产品特性分析
传感技术
采用MEMS硅压阻式传感器
陶瓷电容式传感器可选
316L不锈钢隔离膜片
过载保护设计(200%FS)
显示系统
4.3寸TFT彩色液晶屏
实时曲线显示功能
背光亮度可调
多参数同屏显示(差压/静压/温度)
数据接口
标准4-20mA输出
RS485 Modbus RTU协议
USB数据导出接口
无线传输模块(可选)
环境适应性
工作温度:-20~70℃
介质温度:-40~125℃
抗电磁干扰设计
防爆型号可选(Ex ia IIC T4)
典型应用场景
暖通空调系统
过滤器压差监测
风管压力平衡调试
洁净室压差控制
VAV变风量系统监控
工业过程控制
石化管道泄漏检测
锅炉燃烧效率监测
压缩空气系统维护
液位精确测量
能源电力
燃气管道检漏
风机性能测试
除尘器压损监测
冷却系统维护
科研实验
风洞试验测量
流体力学研究
环境测试设备
精密仪器校准