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ULVAC爱发科 涡轮分子泵 真空
产品型号：UTM4300A-MS厂商性质：经销商更新时间：2025-05-10访 问 量：11
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ULVAC爱发科 涡轮分子泵 真空 UTM4300A-MS
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 真空 UTM4300A-MS
涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。
涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。
与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到超高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。
这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
长处
泵体和控制器部分分离，
可在控制器部分监控运行状态，并兼容各种通信标准。
自由安装方向 由于对
安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。
抽速 300L/s ~ 4000L/s 级
可在泵速的 25 ~ 100% 范围内改变变
速，并可调节腔室压力。
高耐用性和安全性 它已通过各种安全确认测试，例如
大气进入测试和着陆测试。
用
各种设备的
真空主排气系统 - 半导体制造设备
- 气相沉积设备
- 溅射设备
- 分析设备，实验室设备等
- 研发设施
轻工艺主排气系统，无副反应产物
其他高真空排气应用
| 型 | UTM1300A 质谱仪 | UTM1500A-MS | UTM2400A 质谱仪 | UTM3400A 质谱仪 | UTM4300A 质谱仪 | ||
| 进气口 | VG200 / ICF253 | VG250 系列 | VG300 / VG350 | VG350型 | |||
| 排气口 | 肯氟烃40 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷式 | ||||||
| 极限压力 *1 | 帕 | 10-7 | |||||
| 抽速 *2 | 注 2 | L/s | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 氦气 | L/s | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | L/s | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 系列 | L/s | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩比 | 注 2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| 他 | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 系列 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| 最大入口压力 *3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 最大排气口压力 *3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 转速 | 转速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7 分钟或更短 | 11 分钟或更短 | 12 分钟或更短 | 18 分钟或更短 | |||
| 安装方向 | 可全向安装 | ||||||
| 表面处理 | 镀镍 | ||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1~3 | 2~4 | |||
| 水压 | MPaG | 02~0.5 | |||||
| 噪声 | 分贝（A） | 60 | 57 | 60 | |||
| 质量 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐的辅助泵 | 600L/min 或更高 | 1300L/min 或更高 | 1500L/min 或更高 | ||||
| 控制器 | 配置 | 分开 | |||||
| 输入功率 | 单相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| 最大功率要求 | 千伏安 | 1.0 | 1.5 | ||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵指定转速的 25% ~ 100% 之间变化（设置以 0.1% 为增量） | ||||||
| 外部控制 | 触点输入和输出 | ||||||
| RS-232C / RS-485 | |||||||
| 质量 | 公斤 | 8 | |||||
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