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ULVAC爱发科 热阴极电离真空计
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ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 ST200-A
ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 ST200-A
这是传感器类型“型号:G-TRAN"多离子计的新型号,可以连接不同测量范围的测量元件。 这种三极管型电离真空计不易受到灵敏度的影响,即使在真空计难以控制的环境中也能进行更长时间、更准确的真空测量。 在继承高使用寿命和低运行成本的传统理念的同时,我们进行了更加用户友好的改进。
长处
可用性改进:可以通过 PC/智能手机连接设置设定点、状态检查等。
灯丝寿命通知功能:灯丝电量监控可提前通知灯丝寿命
可连接不同测量范围的传感器:多离子计允许根据应用选择测量元件
紧凑性:比传统产品小得多(控制器体积减少 56%),是小的级别
产品阵容充实:除了模拟输出规格(ST200-A)和串行通信规格(ST200-R)外,还将增加EtherCAT规格(ST200-E)
一台三极管金属电离真空计(正在申请):即使在恶劣环境中也能保持长寿命
压力测量范围广:从大气压到高真空 (1×10)+5~1×10-5Pa)(连接了可选单元 SWU10-R 时)
精确的大气压力测量:可以检查腔室打开时的大气压力(当连接到可选单元 SAU 时)
用
用于检查 OLED 和触摸屏等制造设备的极限压力,以及用于过程管理
用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力
用于在含有大量碳氢化合物(油基)的气氛中进行测量
用于在真空部件加工过程中残留切削油和清洁液的环境中进行测量
对于希望减少真空计测量装置更换频率的真空设备
* 如果您在腐蚀性气体(卤素气体)环境中使用它,请联系我们。
型 | ST200-A 系列 | ST200-R 系列 | ST200-E(即将发布) | |
规范 | 标准规格 | 串行通信规格 | EtherCAT 规范 | |
自适应多离子计传感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
可连接的传感器 | 多离子真空计传感器:1 皮拉尼真空计 SWU10-R:1(可选) 大气 压力传感器 SAU:1(可选) | |||
重复性 (N2) | ST200 独立模式:±2% | |||
采样时间 | 60ms 5 移动平均线处理 | |||
测量值输出 | 输出电压 DC 0~10V LOG 输出 0.75V/个位数 压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
更新时间 | 60 毫秒 | |||
控制输入信号 | FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF 使用集电极开路输入、负逻辑运行 | - | - | |
控制输出信号 | 传感器错误,设定点 1/2/3,发射有效,灯丝 功率监控 额定值:24V MAX,50mA MAX,1V 饱和电压 | - | - | |
串行通信规格 | - | RS232C/RS-485 接口 | EtherCAT 技术 | |
LED 指示 | POWER/ERROR:电源、错误 LED(闪烁状态根据每种模式而变化) | |||
发射电流 | 2mA(1×10-2Pa 或更低)、10 μA (1×10-2PA 或更高) | |||
DEGAS | 电子轰击方式,发射电流 2 mA,电网电压约 330 V | |||
传感器耐压 | 2×10+5Pa (绝对压力) * 法兰和卡箍等耐压性必须单独考虑。 | |||
传感器内部容积 | 17 厘米3(SWT-16),19 厘米3(SWT-25) | |||
工作温度范围 | 10~50°C | |||
工作湿度范围 | 15~80% (无结露) | |||
储存温度 | -20~65°C(断电时,无冷凝) | |||
IP 防护等级 | IP30 防护等级 | |||
电源电压 | DC20~28V(纹波、噪声 1% 以下) 8W 或更低 | |||
输入/输出连接器 | D-sub 15 针(M2.6 螺丝) | |||
质量 | 控制器:约 280g 测量元件(SWT-16、SWT-25):80g | |||
尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm(控制器) | |||
法规遵从性 | CE | |||
Op-syeong (奥普祥) | 多离子计传感器 | SWT-16 (NW16), SWT-25 (NW25) 材质 : 灯丝 : Ir/Y2O3 涂层 其他: PtC-Mo, SUS304, W, 可伐合金玻璃, 可伐合金/镍电镀 | ||
皮拉尼真空计 | SWU10-R *兼容传统 SPU | |||
皮拉尼仪表传感器 | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18管端), SWP-P15(Φ15管端), SWP-CF16(ICF034)材质 : 细丝-Pt, 其他-BS/Ni, 电镀, Ni, 焊锡 | |||
气压传感器 | SAU(NW16) 材质:SUS316L | |||
单元电缆 | GUC-200P(用于 SWU):0.5m、1m、2mGUC-200A (用于 SAU):0.5m、1m、2m | |||
显示单位 | 1CH:ISG1(使用 24V DC 电源) | |||
显示单元电缆 | SH200 ~ 显示单元电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
连接器 | 输入/输出连接器(D-sub15-soket(M2.6mm 螺丝)) | |||