LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7100C
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7100C

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7100C

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。作为现代工业自动化过程控制的核心组件，MFC通过将质量流量传感器、控制阀和比例积分微分（PID）控制电路集成于一体，实现对流体流量的高精度闭环控制，典型控制精度可达±0.5%～±1.0%满量程（FS）。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

离子注入（BF₃/PH₃精确配气）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

锂电材料烧结（N₂/O₂混合控制）

光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）

3. 制药行业：

生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）

冻干机惰性气体保护（露点控制<-70℃）

无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）

4. 科研实验：

催化反应研究（多路气体并行控制）

质谱仪载气调节（0.1-10mL/min微流量）

环境模拟实验（温湿度联动控制）

关键性能指标

参数标准型号高性能型号

量程范围0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM

控制精度±1.0% FS±0.5% RD

重复性±0.2% FS±0.1% FS

响应时间<1s<300ms

工作压力0.1-0.5MPa真空-10MPa

温度系数±0.05%/℃±0.01%/℃