LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3252L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3252L

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3252L

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

核心技术架构

传感系统：

热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃

压差式传感：基于层流元件和压差传感器组合，适用于大流量范围（0.1-5000SLM）

科里奥利式：直接质量测量，精度可达±0.1%读数

控制系统：

24位Σ-Δ ADC转换器

数字PID算法（响应时间<100ms）

支持Modbus RTU/Profibus DP通讯协议

阀体系统：

压电瓷阀（响应时间<10ms）

电磁比例阀（寿命>10⁸次循环）

金属密封阀座（耐压10MPa）

技术发展趋势

智能化升级：

集成AI预测性维护功能

5G远程监控与参数优化

微型化发展：

MEMS流量传感器（芯片级集成）

适用于便携式分析仪器

绿色制造：

无铅焊接工艺

可再生材料应用