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LINTEC琳得科 质量流量控制器

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L-TC
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

  • 产品型号:MC-3102L-TC
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-03-26
  • 访  问  量:57
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LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L-TC


LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L-TC

质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后,部分的气体从分流器导入质流传感器,由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号,反馈调节控制阀的开度,以此进行流量的控制。

型应用场景

1. 半导体制造:

晶圆刻蚀工艺(Cl₂、CF₄等特种气体控制)

CVD沉积(SiH₄/N₂O流量比控制±1%)

2. 新能源领域:

燃料电池氢气供应(动态响应<50ms)

锂电材料烧结(N₂/O₂混合控制))

3. 制药行业:

生物反应器气体供应(O₂/CO₂/N₂三联控)

温度最小压差最大压差精度控制范围最小F.S.最大F.S.密封材
Low80~100℃50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLMAu
high100~120℃50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLMAu

技术发展趋势

智能化升级:

集成AI预测性维护功能

5G远程监控与参数优化

微型化发展:

MEMS流量传感器(芯片级集成)

适用于便携式分析仪器

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