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LINTEC琳得科 质量流量控制器
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LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-11RC
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-11RC
质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。
质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后,部分的气体从分流器导入质流传感器,由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号,反馈调节控制阀的开度,以此进行流量的控制。
型应用场景
1. 半导体制造:
晶圆刻蚀工艺(Cl₂、CF₄等特种气体控制)
CVD沉积(SiH₄/N₂O流量比控制±1%)
2. 新能源领域:
燃料电池氢气供应(动态响应<50ms)
锂电材料烧结(N₂/O₂混合控制))
3. 制药行业:
生物反应器气体供应(O₂/CO₂/N₂三联控)
温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 150SLM | 橡胶 |
技术发展趋势
智能化升级:
集成AI预测性维护功能
5G远程监控与参数优化
微型化发展:
MEMS流量传感器(芯片级集成)
适用于便携式分析仪器