LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5460L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5460L

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5460L

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。作为现代工业自动化过程控制的核心组件，MFC通过将质量流量传感器、控制阀和比例积分微分（PID）控制电路集成于一体，实现对流体流量的高精度闭环控制，典型控制精度可达±0.5%～±1.0%满量程（FS）。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

产品核心优势

精准控制能力：

采用自适应PID算法，在10%-100%量程内保持线性度±0.5%

零漂移补偿技术，长期稳定性<±0.5%/年

材料兼容性：

流道材料可选316L不锈钢、哈氏合金、PTFE等

通过NACE MR0175酸性环境认证

关键性能指标

参数标准型号高性能型号

量程范围0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM

控制精度±1.0% FS±0.5% RD

重复性±0.2% FS±0.1% FS

响应时间<1s<300ms

工作压力0.1-0.5MPa真空-10MPa

温度系数±0.05%/℃±0.01%/℃

气体隔膜隔离闽体及驱动装置，极大地减小闭死容积。这些特殊设计，可以增强气体的流通，降低污染物影响，使设备具备高澄换性，保证更长的使用寿命，也更适合于液化气体等优势。