LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5470C
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5470C

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5470C

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。作为现代工业自动化过程控制的核心组件，MFC通过将质量流量传感器、控制阀和比例积分微分（PID）控制电路集成于一体，实现对流体流量的高精度闭环控制，典型控制精度可达±0.5%～±1.0%满量程（FS）。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

心技术架构

传感系统：

热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃

压差式传感：基于层流元件和压差传感器组合，适用于大流量范围（0.1-5000SLM）

科里奥利式：直接质量测量，精度可达±0.1%读数

控制系统：

24位Σ-Δ ADC转换器

数字PID算法（响应时间<100ms）

支持Modbus RTU/Profibus DP通讯协议

气体隔膜隔离闽体及驱动装置，极大地减小闭死容积。这些特殊设计，可以增强气体的流通，降低污染物影响，使设备具备高澄换性，保证更长的使用寿命，也更适合于液化气体等优势。