LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7200D
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7200D

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7200D

质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。供给 Ru及 Rd的电压是相等的，Ru、Rd与 R 保持一定的温度，当气体流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。

内置微处理器提高处理效能微处理器记录质量流量控制需各部的输入及输出变化。以对比方式断有异常状况时，会提出警告。利阳自动化流量校正以及需点校正技术，提供高度质量稳定的产品，控制阀采用隔膜阀，闭死容积极小