LINTEC 质量流量控制器 MC-7100C
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC 质量流量控制器 MC-7100C

LINTEC 质量流量控制器 MC-7100C

质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。供给 Ru及 Rd的电压是相等的，Ru、Rd与 R 保持一定的温度，当气体流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。

产品特点

• 超高速流量控制200msec

• 精度±1%S.P.

• 使用温度5～50℃

• 金属密封材

• 无尘（粒子标准监控）

• 周围温度补偿传感器

• 支持EtherCAT通讯方式

• 支持DeviceNet™通讯方式

品规格表