SONIC索尼克超声波微量液体流量计 LF-300S
用于IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理
・测量1ml/min
以上的微小流量・通过数字信号处理
高精度测量微小流量・传感器部具有与流体的非接触式结构
・范围广

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SONIC索尼克超声波微量液体流量计 LF-300S

用于IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理

・测量1ml/min

以上的微小流量・通过数字信号处理

高精度测量微小流量・传感器部具有与流体的非接触式结构

・范围广

型	μLF-300S + μLT-8I （1/8英寸）或μLF-300S + μLT-4I （1/4英寸）
测量原理	超声波传播时间差法
被测液体	纯水、水溶液、各种化学溶液 * 请提前检查水以外的液体
自适应流体温度范围	如果您在 15°C~80°C * 60°C 或更高温度下使用，请提前检查
流体压力	0.5MPa 以下
流体动力学粘度	100mm^2/sec 或更小
流量范围	0 ml/min ~ 1000 ml/min （μLF-300S + μLT-8I） 0 ml/min ~ 4000 ml/min （μLF-300S + μLT-4I）
测量精度	±0.5%RD （1/8英寸： 200 ~ 1000ml/min 条件：常温、恒温水） ±1ml/min （1/8英寸： 0 ~ 199ml/min） ±0.5%RD （1/4英寸： 800 ~ 4000ml/min 条件：常温、恒温水） ±4ml/min （1/4英寸：0~ 799 毫升/分钟）
重复性	±0.2%（纯品，液体温度±0.5°C，平均 30 秒）
权力	直流 24V ±10%
功耗	3.6W 或更低
重量	传感器 240 克，探测器 70 克
尺寸 WxHxD（mm）	传感器 97 x 49 x 127 探测器 90 x 25 x 20（不含管）
探测器
管材	PFA（含氟聚合物）
管径	1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米
结构	相当于 IP65
包含电缆	5 m，连接器连接
Input 部分
数字输出	4 线 RS-422、4 线 RS-485
模拟输出	4-20mA（瞬时流量），负载电阻 500Ω 以下
积分脉冲输出	1ch （集电极开路）
警报输出	1ch （集电极开路）
输入	1ch（零流量设置或清除）
键入命令	4 输入按钮

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SONIC索尼克 超声波微量液体流量计 LF-300S用于IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理・测量1ml/min以上的微小流量 ・通过数字信号处理高精度测量微小流量 ・传感器部具有与流体的非接触式结构・范围广