EBARA荏原 干式真空泵 EV-S50
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一种在抽气过程中无需使用油或其他液体作为工作介质的真空泵。

EBARA荏原  干式真空泵 EV-S50

EBARA荏原  干式真空泵 EV-S50

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一种在抽气过程中无需使用油或其他液体作为工作介质的真空泵。与传统的油封式真空泵相比，因此在半导体制造、制药、化工、食品加工等高洁净度要求的行业中得到了广泛应用。

工作原理

干式真空泵通过机械运动直接抽除气体，无需液体密封或润滑。其工作原理主要依赖于转子、叶片或螺杆等机械结构的运动，将气体从进气口吸入并压缩，最终从排气口排出。常见的干式真空泵类型包括螺杆式、爪式、旋片式和涡旋式等。

主要特点

无油污染：干式真空泵在运行过程中不使用油或其他液体介质，避免了油蒸气对工艺环境的污染，特别适合对洁净度要求的行业，如半导体和制药。

低维护成本：由于无需定期更换油液或处理废油，干式真空泵的维护成本较低，且运行更加可靠。

环保性能：干式真空泵减少了油类废弃物的产生，符合现代工业对环保和可持续发展的要求。

高效节能：干式真空泵通常采用先进的设计和材料，具有较高的抽气效率和能源利用率。

技术发展趋势

随着工业技术的进步，干式真空泵正朝着更高效率、更低噪音和更智能化的方向发展。例如，采用变频技术优化能耗，通过智能监控系统实现远程控制和故障诊断。此外，新材料的应用也进一步提升了干式真空泵的耐腐蚀性和使用寿命。