山田光学 YP-250I 高亮度卤素检查光源 原理与应用解析

一、产品概述

YP-250I 是日本山田光学（YAMADA OPT）研发的高亮度冷反射卤素目视检查光源，专为 8~12 英寸半导体晶圆、液晶面板、光学基板宏观外观检测设计。

设备搭载 250W 卤素光源 + 二向色冷镜光学系统，在工作距离 220mm 处形成 φ40mm 均匀光斑，照度可达 400,000Lux 以上，3400K 连续白光光谱，

显色指数高，能够真实还原工件表面纹理，避免 LED 光源光谱断层带来的缺陷误判。整机需配套 HPS-250 直流稳压控制器使用，光源头自带强制风冷，

抑制热积累，保护热敏样品，广泛用于洁净车间目视抽检。

二、核心技术原理

YP-250I 核心亮点为冷镜（二向色镜）分光技术：光源发出的复合光线，可见光经冷镜反射投射至被测工件，红外热辐射直接穿透镜片向后排出，

大幅降低照射到样品表面的热量，解决传统强光卤素灯烘烤晶圆光刻胶、光学基板受热变形的痛点。光源采用 FLC24V250W 卤素灯泡，

输出连续光谱，3400K 白光，接近自然光显色特性，人眼可直接分辨微米级表面缺陷。配套 HPS-250 直流电源，采用直流点灯方案，

照度波动控制在 1% 以内，长时间点亮亮度稳定，无频闪，保证同一样品多次检测结果一致性。

三、关键技术参数

• 型号：YP-250I（卤素光源头，配套 HPS-250 电源）

• 光源：FLC24V250W 卤素灯泡

• 色温：3400K

• 照度：≥400,000Lux

• 标准照射距离：220mm

• 光斑直径：φ40mm

• 灯泡寿命：30～50 小时

• 冷却方式：强制风冷

• 工作环境温度：0～40℃

• 光源头尺寸：122 (W)×394 (H)×131 (D) mm

• 光源头重量：约 3.59kg

• 安装：20φ 安装支架轴，方便支架固定、角度调节

四、行业应用场景

1. 半导体行业：8/12 英寸硅片、碳化硅晶圆表面目视检查，识别划痕、颗粒、雾度、滑移线、抛光缺陷；

2. 面板与光学产业：LCD、OLED 玻璃基板，光学镜片、偏光片表面外观抽检；

3. 精密零部件：抛光金属、光学镀膜件表面瑕疵复检；

4. 实验室品质分析：来料检验、不良品失效分析，判定表面缺陷类型。

五、产品核心优势

✅ 超高照度：40 万 Lux 强光输出，可检出 0.2μm 级别微小表面缺陷，减少漏检；✅ 冷光源照射：二向色冷镜隔离红外热辐射，热敏样品不被高温损伤； 

✅ 连续光谱白光：3400K 高显色光谱，还原真实表面状态，降低缺陷误判；✅ 照度稳定：直流电源驱动，照度波动≤1%，长时间检测一致性好；

 ✅ 洁净环境适配：强制风冷结构，适配洁净室工作台安装，支架可调角度；✅ 成熟经典型号：半导体行业长期验证，配套电源、灯泡备件供应稳定。