薄膜厚度计的种类

更新时间：2026-06-13

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薄膜厚度计可分为接触式、非接触式、截面观察式三种类型。

1.接触式薄膜测厚仪

接触式膜厚计通过电缆连接传感器和测量仪主体，使传感器接触被测物体来测量膜厚。接触式膜厚计有电磁感应式、

涡流式、超声波式和触针式三种类型。这是传统的膜厚计类型，根据性能不同，售价在数万日元到20万日元之间。

接触式涂层测厚仪使用方便；只需将传感器放置在待测材料上，即可显示读数。然而，其反应速度因材料而异，

因此您可能需要等待几秒钟才能让传感器做出反应。使用电磁感应和涡流接触式涂层测厚仪时，

您需要根据待测材料的基材类型选择合适的型号。

电磁感应式用于测量铁、钢等磁性材料，涡流式用于测量铝、不锈钢等非磁性材料。

此外，还有可同时测量两种方法的双通道型，其中双通道型可同时测量磁性材料和非磁性材料。

2.非接触式薄膜测厚仪

非接触式薄膜测厚仪通过从测厚仪本体发射光线，检测从薄膜表面反射的光与穿透薄膜的光的波长干涉，

并以光谱的形式测量薄膜厚度。主要用于人眼难以触及的场所，有反射光谱式、红外线式、静电电容式、放射线式等。

由于检测部分使用高精度半导体元件，因此价格比接触式更高。

3. 截面观察型膜厚计

截面观察型膜厚计是TEM、SEM等电子显微镜的升级版，用于测量接触式或非接触式无法测量的极小物质。

然而，它们通常用于研究和技术开发，在实际应用中很少使用。

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