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精密平台是可以在X、Y方向或者旋转方向上精确移动的平台。
可移动轴的数量根据型号不同而不同,有各种类型的精密平台可供选择,从1轴到4轴或更多。
平台由小螺距进给丝杠移动,千分尺或带减速器的电机使工作台以微米级移动,适合观察极小的样品。
虽然平台可以精确移动,但运动范围很小,只有几厘米,因此不适合需要平台大幅度移动的应用。
精密平台的应用
精密平台允许沿每个轴(包括 X、Y、Z 和其他三个旋转轴)进行精确和独立的移动,并且用于需要精确控制样品位置的情况。
可用作观察半导体元件等微小物体的显微镜载物台、固定加工机进行精密加工的工件的载物台、检查光学镜头时用于对准光轴的检查载物台、或用于连接具有高精度定位的部件的载物台。
精密平台的原理
精密平台是高精度的线性导轨、进给丝杠、以及使进给丝杠旋转的千分尺或带减速器的电动机构成,这些机构的数量与可动轴的数量相同。当进给螺杆伸出一次时,平台就会移动螺杆的螺距(约几十分之一毫米)。
使用千分尺时,可以通过读取千分尺上刻制的特殊刻度来确定移动量。
使用电机时,电机内部装有旋转编码器。,检测旋转次数,从而控制平台的移动量。
根据应用情况,精密平台有多种产品可供选择,从仅具有 X 轴的单轴平台,到具有 X 和 Y 轴的双轴平台,再到包括 Z 轴和旋转的三轴到六轴平台。 6轴精密平台可以只使用1个轴,即“以小博大",但由于精密平台的可动轴越多,其价格就越高,因此建议选择具有 低必要规格的平台。
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