什么是半导体溅射？

更新时间：2025-04-22

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半导体溅射是半导体制造中使用的一种薄膜形成技术。

被等离子体电离的气体撞击一种称为靶的材料，将微粒沉积到基质上。喷射出的粒子以高能状态到达基材，这使得它们更容易牢固地粘附在基材上。以金属、氧化物等多种物质为靶材，在半导体芯片的配线层、绝缘膜、保护膜等各种膜的形成中发挥着重要作用。

与主要依赖化学反应的方法不同，溅射具有通过物理方式将材料供应到基材的特点。与气相沉积相比，该方法的优点是可以提供更高的薄膜附着力和均匀性，并且薄膜厚度的控制更容易且更稳定。据称，在需要精细图案的半导体工艺中，更容易实现高再现性。

半导体溅射是生产高性能器件的重要方法。

半导体溅射的应用

半导体溅射的优点在于，它可以灵活地适应堆叠具有多种功能层的工艺，从导电层到保护层。不仅可以期待稳定的薄膜品质，而且通过精密控制可以轻松获得均匀的薄膜也备受关注。以下是如何使用这些服务的一些示例：

1. 半导体晶圆

广泛应用于半导体晶圆上高精度布线层及电极的形成工序。该方法的特点是可以在基板上均匀地沉积一层薄薄的金属膜，从而获得稳定的电气特性。除了导体之外，它还可以形成绝缘膜和阻挡层，从而可以灵活应对日益复杂的器件结构。

2. 小型设备

溅射技术通常用于制造需要微加工的小型设备。通过等离子体物理供应粒子的优点是即使在具有高纵横比结构的区域也更容易形成稳定的薄膜。例如，在传感器和存储元件中，精确控制的薄膜对器件性能和可靠性有重大影响。

3. 原型设计、研究与开发

半导体溅射服务也经常用于原型设计和研发领域。该方法的优点是在评估新材料的性能或优化工艺条件时可以轻松处理少量样品。由于它可以处理各种各样的材料，因此可以灵活地进行使用下一代功能材料和复合材料的实验，并且在考虑高级应用时也很有用。该方法被高度评价为一种易于使用的技术，因为即使在测试的材料特性时，它也可以适当调整薄膜厚度。

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