products category
Related articles
产品中心/ products
Osaka Vacuum大阪真空 油扩散真空泵
联系电话:028-87319898
Osaka Vacuum大阪真空 油扩散真空泵 DP8
Osaka Vacuum大阪真空 油扩散真空泵 DP8
油扩散真空泵(Oil Diffusion Pump)是一种无运动部件的高真空获得设备,属于动量传输式真空泵。它通过高速蒸汽射流将气体分子从泵入口传输至出口,从而在泵入口处产生高真空环境。油扩散泵自1915年由德国科学家沃尔夫冈·盖德发明以来,已成为高真空领域的真空获得设备之一。
油扩散真空泵的应用领域
科研领域:
高能物理实验(粒子加速器、同步辐射装置)
表面科学研究(XPS、AES、STM等表面分析仪器)
材料科学(薄膜制备、纳米材料研究)
空间环境模拟(航天器组件测试)
工业制造:
半导体制造(光刻机、离子注入机、CVD设备)
真空镀膜(光学镀膜、装饰镀膜、工具镀膜)
电子管和灯泡生产
真空冶金(特种合金熔炼)
特殊应用:
冷冻干燥设备(制药、食品行业)
真空浸渍(变压器、电机绕组处理)
质谱仪、电子显微镜等分析仪器
航天推进系统测试
传统应用:
真空炉(热处理、钎焊)
真空蒸馏(高纯度金属提纯)
真空包装机械(特殊材料包装)
标准规格 | |||||||
格式※1 | DP2 | DP3 | DP4 | DP6 | DP8 | DP10 系列 | |
抽速 (L/s) | 无挡板 | 125 | 280 | 380 | 810 | 1450 | 2070 |
带标准挡板 | 58 | 150 | 215 | 465 | 790 | 1200 | |
测试极限压力 (Pa) | ~10-5 | ||||||
空载临界背压 (Pa) | 20 | 15 | |||||
油回流 - 带 标准挡板 (mg/cm)2・最小) | <10-4 | ||||||
标准挡板 | 水冷百叶窗 | ||||||
加热器 | 权力 | AC100V,1φ | AC200V,1φ | ||||
功率 (kW) | 0.33 | 0.5 | 0.7 | 1 | 1.4 | 1.9 | |
油量 (L) | 0.05 | 0.1 | 0.15 | 0.34 | 0.5 | 0.82 | |
冷却水量 - 包括挡板的冷却水量※2 (米3/h) | 0.03 | 0.06 | 0.09 | 0.18 | 0.24 | 0.3 | |
重量 (kg) | 4 | 6 | 8 | 20 | 30 | 41 | |
参考辅助泵※3 | VRD-4 系列 | VRD-8 系列 | VRD-24 系列 | VRD-48 系列 | P90 系列 | P180/P222 |
标准规格 | |||||||
格式※1 | DP14 | DP18B | DP22B 系列 | DP24B | DP28B | DP36 | |
抽速 (L/s) | 无挡板 | 3600 | 8000 | 12800 | 16000 | 20000 | 40000 |
带标准挡板 | 2350 | 4600 | 6900 | 7900 | 9800 | 18000 | |
测试极限压力 (Pa) | ~10-5 | ||||||
空载临界背压 (Pa) | 15 | 59 | 65 | 65 | 67 | 27 | |
油回流 - 带 标准挡板 (mg/cm)2・最小) | <10-4 | ||||||
标准挡板 | 水冷百叶窗 | ||||||
加热器 | 权力 | AC200V,3φ | |||||
功率 (kW) | 4.5 | 3.5 | 5.4 | 6.6 | 8 | 15 | |
油量 (L) | 1.6 | 2.2 | 3 | 3.5 | 4.5 | 9 | |
冷却水量 - 包括挡板的冷却水量※2 (米3/h) | 0.42 | 0.3 | 0.42 | 0.6 | 上部电路 0.18 或更高,下 部电路 0.54 或更高 | 2.4 | |
重量 (kg) | 120 | 110 | 167 | 210 | 250 | 1000 | |
参考辅助泵※3 | 根据规格选择 |