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Osaka Vacuum大阪真空 油扩散真空泵
产品型号：DP36厂商性质：经销商更新时间：2025-06-14访 问 量：132
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Osaka Vacuum大阪真空 油扩散真空泵 DP36
Osaka Vacuum大阪真空 油扩散真空泵 DP36
油扩散真空泵（Oil Diffusion Pump）是一种无运动部件的高真空获得设备，属于动量传输式真空泵。它通过高速蒸汽射流将气体分子从泵入口传输至出口，从而在泵入口处产生高真空环境。油扩散泵自1915年由德国科学家沃尔夫冈·盖德发明以来，已成为高真空领域的真空获得设备之一。
油扩散真空泵的主要特点
结构特点：
无机械运动部件，结构简单可靠
通常由泵体、加热器、冷却系统、喷嘴组和油锅组成
泵体材料多为不锈钢或碳钢，内部经过精密加工
采用多级喷嘴设计（通常3-5级），每级喷嘴形状和角度经过优化
性能特点：
工作压力范围宽（10⁻⁰至10⁻¹⁰ Torr）
抽速大，尤其是对大分子量气体
极限真空可达10⁻⁶至10⁻⁹ Torr（取决于泵油和前级泵）
对振动不敏感，运行平稳
操作特点：
需要前级泵预抽至适当压力（通常<0.1Torr）才能启动
需要较长的预热时间（30分钟至2小时）
必须配备有效的冷却系统（水冷或风冷）
对返油问题敏感，通常需要配合冷阱或挡板使用
| 标准规格 | |||||||
| 格式※1 | DP2 | DP3 | DP4 | DP6 | DP8 | DP10 系列 | |
| 抽速 （L/s） | 无挡板 | 125 | 280 | 380 | 810 | 1450 | 2070 |
| 带标准挡板 | 58 | 150 | 215 | 465 | 790 | 1200 | |
| 测试极限压力 （Pa） | ~10-5 | ||||||
| 空载临界背压 （Pa） | 20 | 15 | |||||
| 油回流 - 带 标准挡板 （mg/cm）2・最小） | <10-4 | ||||||
| 标准挡板 | 水冷百叶窗 | ||||||
| 加热器 | 权力 | AC100V，1φ | AC200V，1φ | ||||
| 功率 （kW） | 0.33 | 0.5 | 0.7 | 1 | 1.4 | 1.9 | |
| 油量 （L） | 0.05 | 0.1 | 0.15 | 0.34 | 0.5 | 0.82 | |
| 冷却水量 - 包括挡板的冷却水量※2 （米3/h） | 0.03 | 0.06 | 0.09 | 0.18 | 0.24 | 0.3 | |
| 重量 （kg） | 4 | 6 | 8 | 20 | 30 | 41 | |
| 参考辅助泵※3 | VRD-4 系列 | VRD-8 系列 | VRD-24 系列 | VRD-48 系列 | P90 系列 | P180/P222 | |
| 标准规格 | |||||||
| 格式※1 | DP14 | DP18B | DP22B 系列 | DP24B | DP28B | DP36 | |
| 抽速 （L/s） | 无挡板 | 3600 | 8000 | 12800 | 16000 | 20000 | 40000 |
| 带标准挡板 | 2350 | 4600 | 6900 | 7900 | 9800 | 18000 | |
| 测试极限压力 （Pa） | ~10-5 | ||||||
| 空载临界背压 （Pa） | 15 | 59 | 65 | 65 | 67 | 27 | |
| 油回流 - 带 标准挡板 （mg/cm）2・最小） | <10-4 | ||||||
| 标准挡板 | 水冷百叶窗 | ||||||
| 加热器 | 权力 | AC200V，3φ | |||||
| 功率 （kW） | 4.5 | 3.5 | 5.4 | 6.6 | 8 | 15 | |
| 油量 （L） | 1.6 | 2.2 | 3 | 3.5 | 4.5 | 9 | |
| 冷却水量 - 包括挡板的冷却水量※2 （米3/h） | 0.42 | 0.3 | 0.42 | 0.6 | 上部电路 0.18 或更高，下 部电路 0.54 或更高 | 2.4 | |
| 重量 （kg） | 120 | 110 | 167 | 210 | 250 | 1000 | |
| 参考辅助泵※3 | 根据规格选择 | ||||||
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