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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE120TX
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE120TX
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的显著特点
无油设计:
泵腔内无任何润滑介质
抽气过程100%无油蒸汽反流
达到ISO 8573-1 Class 0无油标准
精密机械结构:
采用多级压缩设计(通常3-7级)
转子与腔体间隙控制在微米级
特殊表面处理工艺降低摩擦
介质适应性:
可处理腐蚀性气体(需特殊材质)
耐受粉尘和颗粒物(配置过滤器时)
能抽除可凝性蒸汽
智能控制系统:
集成温度、振动等多参数监测
具备自动过载保护功能
支持远程监控和故障诊断
宽泛的工作范围:
极限真空可达0.01Pa(涡轮分子泵组合时)
流量范围从1m³/h到1000m³/h
适应连续或间歇运行模式
规格/型号 | SDE90X 系列 | SDE120TX | SDE200 系列 | SDE303X/TX | SDE603X/TX | SDE1203X/TX | |
最大抽速 [L/min] *1 *4 | 1,300 | 1,500 | 3,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | |
极限压力 [Pa] *1 | 1.3 | 0.5 | |||||
电源电压 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V *5 | ||||||
功耗 [kW]*2 | 1.3 | 2.8 | 2.7 | 1.5/3.0 | 1.6/3.1 | 2.0/3.2 | |
外形尺寸 [mm]*3 | L | 690 | 930 | 760 | 900 | ||
W | 370 | 400 | 400 | ||||
H | 501 | 500 | 905 |