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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE120TX
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

  • 产品型号:SDE120TX
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-05-28
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE120TX


KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDE120TX

干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的显著特点

无油设计:

泵腔内无任何润滑介质

抽气过程100%无油蒸汽反流

达到ISO 8573-1 Class 0无油标准

精密机械结构:

采用多级压缩设计(通常3-7级)

转子与腔体间隙控制在微米级

特殊表面处理工艺降低摩擦

介质适应性:

可处理腐蚀性气体(需特殊材质)

耐受粉尘和颗粒物(配置过滤器时)

能抽除可凝性蒸汽

智能控制系统:

集成温度、振动等多参数监测

具备自动过载保护功能

支持远程监控和故障诊断

宽泛的工作范围:

极限真空可达0.01Pa(涡轮分子泵组合时)

流量范围从1m³/h到1000m³/h

适应连续或间歇运行模式

规格/型号SDE90X 系列SDE120TXSDE200 系列SDE303X/TXSDE603X/TXSDE1203X/TX
最大抽速
[L/min] *1 *4
1,3001,5003,3005,00010,00020,000
极限压力
[Pa] *1
1.30.5
电源电压
(50/60Hz)
三相 AC200~220V *5
功耗 [kW]*21.32.82.71.5/3.01.6/3.12.0/3.2
外形尺寸 [mm]*3L690930760900
W370400400
H501500905






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