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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MUP1200E
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。

  • 产品型号:MUP1200E
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-05-26
  • 访  问  量:191
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KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MUP1200E


KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MUP1200E

干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的核心优势

洁净无污染:

确保工艺气体纯度

避免产品油污染

符合洁净室标准

低维护成本:

无油液更换需求

维护周期长达20,000小时

易损件寿命显著延长

节能环保:

比油封泵节能30-50%

无废油处理问题

噪音水平低于65dB(A)

稳定可靠:

采用特殊轴承设计

热稳定性优异(-20℃至+120℃)

振动值<2.8mm/s

系统兼容性强:

可与分子泵组成复合机组

轻松集成自动化生产线

支持多种工业通讯协议

型号*1MUP600EMUP1200EMUP1800EMUH3000
最大抽速
[L/min]*2 *6
10,00019,00030,00050,000
极限压力
[Pa] *2
0.5
电源电压 (50/60Hz)三相 AC200~220V*5
N2流速 [SLM]0~450~60
冷却水流量 [L/min]2
功耗[kW]*30.80.951.11.6
外形尺寸 [mm]*4L695850910
W285380420
H850950900
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